1、废气收集
在保证集气和排风效果的基础上，集气罩的配置应与生产工艺协调一致，尽量不影响工艺操作。同时尽量减少排风量，以减轻吸附装置的负担。
2、 预处理
吸附法对废气中的粉尘、气溶胶和一些引起分子筛中毒的物质要求严格，在废气进入吸附器之前须将粉尘、漆雾处理干净，并对气溶胶进行破坏。预处理设备应根据废气的成分、性质和影响吸附过程的物质及含量进行选择。
3 、吸附装置
选择合适的分子筛，在分子筛选定后，分子筛用量应根据一个吸附周期内吸附床层的动态吸附量确定。
吸附器的净化效率应不低于90%，同时装置出口污染物的排放浓度应低于国家、地方和行业相关排放标准的要求。吸附器的压力损失宜低于4kPa。
4、TO/CO/RTO/RCO VOCs燃烧装置
根据进入燃烧装置前的废气浓度，结合合理的投资运行费用比较，可以选择采用不同的燃烧工艺来处理废气，包括：直接燃烧（TO）、催化燃烧（CO）、蓄热燃烧（RTO/RCO）。
5、 脱附
利用热气流脱附时，严格控制进入吸附器的热气流的温度，吸附器尾气中的有机物浓度不能过其爆炸极限下限的25%浓度限制，不能有造成爆炸的危险。
6、 燃烧后处理
经过燃烧后产生的高温烟气的余热。在大多数情况下是用于吸附器的再生，降低设备的运行费用，也可以用于余热锅炉或引入生产工艺中。利用高温烟气的余热对吸附器进行再生的方式有两种：一是通过冷风机在高温烟气中补充部分新鲜空气，使烟气温度降到分子筛再生所需要的温度后直接引入吸附器进行分子筛的再生。二是增加一个气-气换热器，利用高温烟气加热新鲜空气至分子筛脱附所需要的温度后引入吸附器进行分子筛的脱附。 分子筛有活性炭分子筛和沸石分子筛两种。
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